بررسی تأثیر مدت زمان رسوب دهی بر خواص لایه های نازک تیتانیم ایجاد شده با روش pvd

Authors

abstract

هدف از تحقیق حاضر بررسی تأثیر افزایش مدت زمان رسوب دهی و در نتیجه افزایش ضخامت بر خواص لایه های نازک تیتانیم ایجاد شده روی زیرلایه فولاد زنگ نزن 316l با استفاده از روش رسوب دهی فیزیکی بخار (pvd) است. به این منظور، عملیات رسوب دهی در مدت زمان های مختلف 5، 10، 15 و 20 دقیقه انجام شد تا لایه هایی با ضخامت های مختلف ایجاد شود. سپس ضخامت لایه های نازک تیتانیم با استفاده از دستگاه پروفیل سنج اندازه گیری و ترکیب شیمیایی آنها توسط روش توزیع انرژی پرتو x (edx) تعیین شد. همچنین مورفولوژی لایه ها با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (fesem) و توپوگرافی آنها توسط میکروسکوپ نیروی اتمی (afm) بررسی شد. ساختار لایه های نازک تیتانیم نیز با استفاده از روش پراش پرتو x (xrd) تعیین و استحکام چسبندگی آنها به زیرلایه توسط آزمون کیفی heat & quench بررسی شد. نتایج حاصل از این آزمون ها نشان داد که با افزایش مدت زمان رسوب دهی، ضخامت لایه های نازک تیتانیم از حداقل nm 88 به حداکثر nm 298 افزایش می یابد. همچنین اندازه دانه میانگین تیتانیم از حداقل nm 12 به حداکثر nm 65 افزایش یافته و ساختار متراکم تر و یکنواخت تر می شود. مقدار زبری میانگین سطح لایه های نازک تیتانیم نیز از حداقل nm 108/2 به حداکثر nm 767/3 افزایش می یابد. به علاوه لایه های نازک تیتانیم دارای جهت ترجیحی (002) هستند و استحکام چسبندگی خوبی را به زیرلایه نشان می دهند.

Upgrade to premium to download articles

Already have an account?login

similar resources

بررسی تأثیر مدت زمان رسوب دهی بر خواص لایه های نازک تیتانیم ایجاد شده با روش PVD

هدف از تحقیق حاضر بررسی تأثیر افزایش مدت زمان رسوب دهی و در نتیجه افزایش ضخامت بر خواص لایه های نازک تیتانیم ایجاد شده روی زیرلایه فولاد زنگ نزن 316L با استفاده از روش رسوب دهی فیزیکی بخار (PVD) است. به این منظور، عملیات رسوب دهی در مدت زمان های مختلف 5، 10، 15 و 20 دقیقه انجام شد تا لایه هایی با ضخامت های مختلف ایجاد شود. سپس ضخامت لایه های نازک تیتانیم با استفاده از دستگاه پروفیل سنج اندازه ...

full text

بررسی تأثیر ضخامت بر خواص لایه های نازک تیتانیم ایجاد شده توسط فرآیند پراکنش مگنترونی dc

full text

بررسی تأثیر ضخامت بر خواص لایه‌های نازک تیتانیم ایجاد شده توسط فرآیند پراکنش مگنترونی DC

full text

بررسی اثر زمان لایه نشانی بر خواص فیزیکی لایه های نازک N:ZnO

در این تحقیق لایه‌های نازک N:ZnO روی زیر لایه شیشه با استفاده از کندوپاش DC در فشار کاری Torr 2-10×2 در مخلوط گازهای آرگون و نیتروژن لایه نشانی شدند. ضخامت، ریخت‌شناسی، ساختار کریستالی و خواص اپتیکی لایه‌ها در سه زمان کندوپاش مختلف شناسایی شدند. با افزایش زمان لایه نشانی، ضخامت لایه‌ها، زبری سطح و ارتفاع دانه‌ها افزایش می‌یابد. لایه‌ها دارای بافت قوی کریستالی در راستای (002) با ساختار هگزاگونال...

full text

تأثیر زمان لایه نشانی بر خواص ساختاری و فیزیکی پوشش های کربنی لایه نشانی شده با روش کندوپاش مگنترونی

full text

بررسی اثر چگالی جریان بر ریزساختار لایه های نازک منگنز- مس تولید شده به روش رسوب دهی الکتریکی

- در این تحقیق پوشش نانو کریستالی m‏n-cu با روش رسوب دهی الکتریکی از حمام حاوی سولفات آمونیوم بر زیر لایه فولاد زنگ نزن 304 aisi ایجاد شد. اثرات چگالی جریان رسوب دهی بر ریزساختار، ساختار بلوری و ترکیب شیمیایی پوشش ها بررسی گردید. نتایج نشان داد که در چگالی جریان های پایین، پوشش های غیر پیوسته با مقدار مس زیاد به دست می آید. با افزایش چگالی جریان، پوشش های غیربلوری، فشرده و غیریکنواخت با مقادیر ...

full text

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}

Journal title:

علوم و مهندسی سطح ایران

جلد ۸، شماره ۱۳، صفحات ۱۵-۲۳

Keywords

لایه های نازک تیتانیم رسوب دهی فیزیکی بخار مدت زمان رسوب دهی خواص

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com